So entstehen ultradünne Diamant-Trennscheiben
Feb 26, 2023
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Die ultradünne 0.04-mm-Diamant-Trennscheibe wird tatsächlich auf diese Weise hergestellt!
Ultradünne Diamanttrennscheiben haben aufgrund ihrer Vorteile wie ultradünne Schnittrillenbreite, glatter Schnittbruch, geringe Ausschussrate und hohe Schneideffizienz allmählich die Aufmerksamkeit der Menschen auf sich gezogen. Gegenwärtig verwendete herkömmliche Klingen können grob in zwei Typen unterteilt werden: galvanisierte Klingen mit einer Dicke von 15-100 μm und Harzklingen mit einer Dicke von 100-500 μm. Heute hat der Redakteur eine Produktionsmethode gefunden, die 40μm erreichen kann. Ich hoffe, mit schleifenden Freunden zu teilen und zu diskutieren~
1. Übersicht
Ultradünne Diamant-Trennscheiben werden weltweit häufig zum Schneiden von großformatigen integrierten Schaltkreisen, Computerchipmaterialien und anderen wertvollen Halbleitermaterialien verwendet. In der Vergangenheit hat ein Forschungsinstitut in Shanghai in meinem Land versucht, dieses Produkt herzustellen, aber aufgrund der damals begrenzten experimentellen Bedingungen wurden keine verwandten Produkte gesehen. Ultradünne Diamant-Trennscheiben werden derzeit hauptsächlich in den Vereinigten Staaten und Japan hergestellt und zusammen mit importierten Schneidgeräten verwendet. Die Schnittgeschwindigkeit liegt bei über 30,000r/min und wird durch Luftlager unterstützt. Das Schneidobjekt hat strenge Anforderungen an den Einschnitt, und es ist leicht, das Messer zu treffen. Nach umfangreicher Forschung und mühsamer experimenteller Forschung haben wir erfolgreich qualifizierte Produkte für die Produktion unter Verwendung des Verbundgalvanikverfahrens entwickelt und nationale Patente erhalten.
2. Schlüsselpunkte der experimentellen Forschung
1. Bestimmung der verwendeten Diamantparameter;
2. Herstellung eines speziellen chemischen Umwandlungsfilms;
3. Klingendicke genau steuern Weniger als oder gleich 40 μm;
4. Die Oberfläche des Messerkörpers ist glatt und ohne Knötchen;
5. Die Klinge muss eine ausreichende Festigkeit und Zähigkeit aufweisen, um sicherzustellen, dass die Klinge bei ultrahohen Geschwindigkeiten nicht auftrifft oder abgelenkt wird, und die Breite der Klinge muss kleiner oder gleich 50 μm sein;
3. Prozessmethode
3.1 Bestimmung von Diamantparametern
Entsprechend der Dicke des Werkzeugs, den Anforderungen an die Gebrauchsgenauigkeit und dem Prinzip des Diamantwerkzeugs wird der verwendete Diamant als hochwertiger Mikro-Einkristall bestimmt. In dem Test wurde Diamantpulver aus inländischem gebrochenem Kristall mit einer Teilchengröße von 10 &mgr;m verwendet, und in der praktischen Phase wurde ein hochwertiger Mikro-Einkristall mit einer Teilchengröße von 5 &mgr;m verwendet. Die ausgewählten Diamanten werden streng nach dem Lösungssedimentationsverfahren gescreent.
3.2 Vorbereitung des chemischen Umwandlungsfilms
3.2.1 Chemische Konversionsbeschichtung und ihre Anforderungen
Der chemische Umwandlungsfilm ist ein spezieller leitfähiger Film, der vor der Elektroabscheidung auf dem Kathodensubstrat hergestellt wird. Seine Anforderungen sind:
1. Es hat eine gute elektrische Leitfähigkeit, so dass der Elektroabscheidungsprozess reibungslos ablaufen kann;
2. Verhindern Sie die starke Verbindung des Elektroabscheidungsmaterials und des Substrats und erleichtern Sie das Ablösen der Beschichtung.
Nach verschiedenen Tests zeigen die Ergebnisse, dass die chemische Phosphatumwandlungsbeschichtung von austenitischem Edelstahl die beste ist.
3.2.2 Vorbereitung
Formel für die chemische Konversionsbeschichtung mit Phosphat (g/L): 5 Oxalsäure, 15 Phosphorsäure, 4 Natriumoxalat, 10 Dinatriumphosphat, 5 Natriumchlorat. Die Betriebsbedingungen sind: Umgebungstemperatur 20 Grad, Arbeitszeit 5min.
3.3 Klingenherstellungsverfahren
3.3.1 Körpergalvanik
Die Ni-Co-Diamant-Mikropulverflocken wurden auf dem Kathodensubstrat aus rostfreiem Stahl mit dem Umwandlungsfilm abgeschieden, der durch das Verbundelektroabscheidungsverfahren hergestellt wurde. Die Formel der Beschichtungslösung ist (g/L): Nickelsulfat 220~240, Kobaltsulfat 15~30, Borsäure 25~35, Natriumchlorid 10~20, Patentadditiv Nr .1 0.6~0.8, Patentadditiv Nr. 2 0.08~0.1, Diamantpulver 5~10. Die Betriebsbedingungen sind: Galvanisierungstemperatur 45~50 Grad, pH-Wert 4,1~405, Dk=2A/dm2, Luftpumpenrühren, Unterbrechungszeit 10min.
3.3.2 Dickenkontrolle
Die Dicke des Produkts wird mithilfe eines Einplatinen-Computer-Dickenreglers auf 35 μm genau geregelt. Das bestehende Problem besteht darin, die "Nodulation" streng zu kontrollieren, und das bestehende patentierte Prozessverfahren löst das "Nodulations"-Problem der abgeschiedenen Schicht.
3.3.3 Abisolieren
Das Verfahren unter Verwendung der Wärmeschältechnologie wurde in das Patent aufgenommen.
3.3.4 Kaltprägen
Das geschälte Blech wird mit einem speziellen Hartlegierungsstempel auf einer Kaltumformmaschine gestanzt und geformt, und das Produkt ist in Abbildung 1 dargestellt.
3.3.5 Montage der Halterung
Die Trennscheibe wird direkt auf den vom Luftlager angetriebenen Flansch gespannt. Die Trennscheibe mit eigener Halterung wird auf einer speziellen Beschichtungsmaschine mit Klebstoff auf den Aluminiumlegierungsflansch geklebt, wie in Bild 2 gezeigt.
4. Produktnutzungseffekt Tel:400-010-0000
20 Produkte wurden ausgewählt und in einer Halbleiterfabrik getestet. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
Die Testergebnisse erfüllen die Schnittanforderungen und die Kosten werden reduziert, was von den Herstellern begrüßt wird. Derzeit wird das Produkt industrialisiert.
5. Schlussfolgerung Tel:400-010-0000
Diese Studie bestimmte die Diamantparameter, die zur Herstellung ultradünner Diamanttrennscheiben verwendet werden, und die effektive Vorbereitungsmethode des chemischen Umwandlungsfilms auf dem Substrat beim Galvanisieren von Trennscheiben, perfektionierte das zusammengesetzte Galvanik-Herstellungsverfahren für solche Trennscheiben und baute darauf basierend ein produktionstaugliches Verwenden Sie qualifizierte Produkte. Die Industrialisierungsperspektive dieser Forschung ist breit gefächert.
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